| 详细介绍：
◆工作温度： 300~1300℃ ◆有效口径 根据用户扩散片确定，可订制 ◆恒温区长度： 1000mm（可根据用户要求定制） ◆温区精度 (静态闭管测试)：600℃＜工作温度＜1200℃： ±0.5℃ 300℃≤工作温度≤600℃： ±1℃ ◆单点温度稳定性(静态闭管测试)： 600℃＜工作温度＜1200℃： ±0.5℃/24h 300℃≤工作温度≤600℃： ±1℃/24h ◆温度斜变能力：最大可控升温速度(300～1300℃)： 15℃/min 最大降温速度(1300～900℃)： 5℃/min ◆气体流量设定精度： ±2％FS ◆气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s ◆自动送料装置行程： ~2000mm 速度： 5~1000mm/min SiC浆承重 17kg ◆装片数量 400片/管 ◆净化台洁净度 100级（10000级厂房） ◆三相五线制 380V±10%，50Hz±10%Hz； ◆冷却水： 2～4Kgf/cm2，～8L/min | 
